福島瑚子さん （理工学研究科　材料機能工学専攻修士課程1年　岩谷研究室）

日本結晶成長学会　ナノ構造?エピタキシャル成長講演会　発表奨励賞

2025年7月18日

段差フリーGaInN系積層型モノリシックμLEDアレイにおけるAnodeビア直下のn型層膜厚がデバイス特性に与える影響

2025年7月17日から19日にかけて北海道?利尻島で開催された「日本結晶成長学会?第17回ナノ構造?エピタキシャル成長講演会」において、本研究が発表奨励賞を受賞しました。
本講演会は、ナノ構造の作製技術およびエピタキシャル結晶成長技術の進展と普及を目的とする学術集会であり、発表奨励賞は、結晶成長および関連分野の発展に寄与する優れた研究成果を発表した若手会員に授与されるものです。
本発表では、VR/ARディスプレイへの応用に不可欠な駆動回路との実装において課題となっていた、従来のデバイス構造における数μm規模のメサ段差の問題を解決すべく、新たに「段差フリー構造」を考案しました。
この構造により、LED層の積層に伴って生じる段差を排除しつつ、n型層のエッチング深さを適切に制御することで、従来構造と同等のデバイス性能が維持できることを実験的に示しました。また、この段差フリー構造がμLEDとして十分な発光機能を持つことも確認されました。
本研究成果は、将来的な高密度実装型マイクロLEDの社会実装に向けた基盤技術として高く評価されました。今後は、さらなる微細化および駆動回路との直接接続への応用展開を進めていく予定です。
写真は、同学会前会長である東京大学?藤岡 洋 教授より表彰を受けた際の記念撮影です。